Список литературы

1. В.П. Попов, А.И. Антонова, А.А. Французов, Л.Н. Сафронов, Г.Н. Феофанов, О.В. Наумова, Д.В. Киланов. Свойства структур и приборов на кремний на изоляторе // Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, 630090 Новосибирск, Россия, 2001 г.

2. Мордкович В.Н. Структуры "кремний на изоляторе" - новый материал микроэлектроники // Материалы электронной техники. 1998. № 2.

3. Colinge C.A. "SOI harsh environment applications in the USA" in Progress SOI structures and devices operating at extreme conditions. Kluwer Acad. Publ. 93-104.

4. Г. Красников, М. Лукасевич, А. Сулимин. Отечественная полупроводниковая промышленность: перспективы БиКМОП-технологии // Электроника: Наука, Технология, Бизнес, 1999, №2.

5. С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев. Производство структур кремний на изоляторе и сенсоров на их основе // Международная конференция «Датчики и системы», Москва, 2002 г.

6. А. Васенков, В. Епифанова, В. Юдинцев. Микроэлектромеханические системы. Настало время выходить в свет // Электроника: Наука, Технология, Бизнес, 1998, №5-6.

7. Интернет сайт http://www.tcen.ru/ - сайт технологического центра.

8. А.И. Погалов, В.П. Тимошенков, С.П. Тимошенков, Ю.А. Чаплыгин. Разработка микрогироскопов на основе многослойных структур кремния и стекла // МИЭТ, Москва

9. В.Майская. Беспроводные сенсорные сети. Малые системы – большие баксы // Электроника: Наука, Технология, Бизнес, 2005, №2.

10. Рукавишников И.Г., Кошелев С.А. Методические указания по оценке надёжности неремонтируемой РЭА по внезапным отказам // М.: МИЭТ, 1987.

11. Саврушев Э.Ц. P-CAD для Windows. Система проектирования печатных плат. // М.: ЭКОМ, 2002. – 320 с.

12. Заводян А.В., Волков В.А. Производство перспективных ЭВС: Учебное пособие. Ч.2 // М.: МИЭТ, 1999.

13. Гель П.П., Иванов-Есипович Н.К. Конструирование и микроминиатюризация радиоэлектронной аппаратуры. // Л.: Энергоатомиздат, 1984.

14. Мэнгин Ч.Г., Макклелланд С. Технология поверхностного монтажа: будущее технологии сборки в электронике. // М: Мир, 1990.

15. Конспект лекций по курсу «Экономические основы предпринимательской деятельности», под ред. Т.Л.Коротковой. // М. МИЭТ, 1993.

16. Проскуряков А.В., Анискин Ю.П. Оценка динамики трудоемкости и себестоимости на стадии освоения. // М. МИЭТ, 1978.

17. В.И. Каракеян, А.Л. Константинова, Н.М. Ларионов, В.М. Писеев. Методические указания по выполнению раздела «Охрана труда» в дипломных проектах. // М., МИЭТ, 1983г.

1